BROOKS布魯克斯儀器公司是您值得信賴的合作伙伴，因為我們的流量，壓力和汽化儀器不僅僅精確。還是可靠的。穩定。可重復的。耐用。

 BROOKS質量流量控制器SLA5850S1PCC1C2A1設計采用*可配置多氣體/多量程功能，相較于競爭產品擁有更好的零點漂移參數并且經確證能夠更持久地保持出廠校準狀態和精度。

BROOKS質量流量控制器SLA5850S1PCC1C2A1產品優勢：

BROOKS質量流量控制器SLA5850S1PCC1C2A1是一款橡膠密封熱式質量流量控制器，經驗證具有*靈活性，能夠滿足各種質量流量測量需求。

優勢：

• 傳感器的長期穩定性可降低對維護和定期校準的要求，從而降低總體經營成本
• 布魯克斯儀器*的熱感測技術可提供的信噪比性能從而提升低設定值條件下的測量和控制精度
• 選擇一個設備平臺即可滿足不同氣體和流量范圍的需求
• 可存儲并預先設定多達六種氣體校準信息，用戶僅需一臺設備即可在不同氣體和量程間輕松切換并減少庫存
• 對用戶開放的服務端口簡化了安裝、故障排除和診斷操作并且不會干擾流量控制器工作
• 耐用、穩定的金屬頂蓋可防止設備在安裝期間受損
• 多協議通信接口可簡化向現有系統的集成操作
• 基于標準的高級計量系統和初級校準系統可確保設備精度

BROOKS質量流量控制器SLA5850S1PCC1C2A1實物圖：

BROOKS質量流量控制器SLA5850S1PCC1C2A1規格參數：

流量范圍-滿量程容量.003 - 2500 slpm
精度：
0.9% of SP (20-100% FS)
0.18% of FS (2-20% FS)
1-50 slpm: 0.18% of SP (1-20% FS)
1100 slpm up to 2500 slpm: 1.0% of FS
重復性：0.20% SP
響應時間-常閉：
0.003 - 100 slpm: <1 second
100 - 2500 slpm: <3 seconds
大壓力：
.003-200 slpm: 1500 psi/103 bar
100 - 2500 slpm: 1000 psi/70 bar
Optional 4500 psi/310 bar on 50 slpm max device
控制范圍：
1-50 slpm: 100:1 Turndown for F.S.
50-2500 lpm: 50:1 Turndown for F.S.
零點穩定性：< 0.2% F.S. per year
溫度系數：
Zero: <0.05% of F.S per oC
Span: <0.1% of S.P. per oC
壓力系數：
0.03% per psi (0-200 psi N2)

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BROOKS質量流量控制器型號：

SLA5850
SLA5860
SLA5851
SLA5861
SLA5853
SLA5863

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